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3種常見高真空泵的對比

2013年09月16日
泵的種類 低溫泵 擴散泵 渦輪分子泵
工作方式 將氣體微粒凍結到一塊“多孔性材料”上,
從而捕獲氣體微粒
用快速流動的油捕獲氣體微粒,并
將它們導出真空室
用高速旋轉的葉片產生強力氣流,從
而將氣體微粒導出腔室
應用 尤其適合于半導體及平面顯示器的應用
僅用于高級太陽能電池工藝
適合于大多數應用,但半導體除外
建議不要用于反應式鍍膜
適合于大多數應用
優點 非常適合于移動速度快的小原子,例如:
氦氣、氫氣和水蒸氣
多種安裝方式,允許任何方向
價格低廉
可靠度高
適用于較大的空間
良好的抽氣特性
無需維護
多種安裝方式,允許任何方向
無污染源
缺點 需要再生
抽氣速度不穩定
氣流較大時效果不理想
可能造成污染(油氣)
只能直立安裝
建議不要用于活性氣體,存在爆炸危險
高壓(排氣)可能造成損壞
來源:山本焊接波紋管(上海)有限公司
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